一种用于激光光束质量测量的超消色差光学系统

摘要

本发明提供了一种用于激光光束质量测量的超消色差光学系统，该光学系统包括第一镜片（1）、第二镜片（2）、第三镜片（3）和第四镜片（4），第一镜片（1）、第二镜片（2）、第三镜片（3）和第四镜片（4）依次设置在同一水平光轴上。该光学系统由四片普通玻璃材料构成，实现350nm‑1100nm整个波段超消色差，光学传递函数接近衍射极限。该系统用于激光光束质量测量仪，可以简化激光光束质量测量的步骤，测量精度高。

主权项

一种用于激光光束质量测量的超消色差光学系统，其特征在于，包括第一镜片（1）、第二镜片（2）、第三镜片（3）和第四镜片（4），所述的第一镜片（1）、第二镜片（2）、第三镜片（3）和第四镜片（4）依次设置在同一水平光轴上；其工作波段为350nm‑1100nm，焦距为200mm，在工作波段内对350nm、532nm、632.8nm、808nm、980nm和1100nm六种波长在0.707孔径处实现了色差的校正；所述的第一镜片（1）为正透镜，其为FK51玻璃制造，前、后表面曲率半径分别为34.67mm和‑59.7mm，中心厚度为7mm，口径为φ25mm；所述的第二镜片（2）为负透镜，其为BAK4玻璃制造，前、后表面曲率半径分别为‑58.34mm和‑651.6mm，中心厚度为4mm，口径为φ24mm，前表面顶点到第一镜片（1）后表面顶点之间的空气间隔为1mm；所述的第三镜片（3）为正透镜，其为SFL6玻璃制造，前、后表面曲率半径分别为‑41.88mm和‑41.69mm，中心厚度为5mm，口径为φ24mm，前表面顶点到第二镜片（2）后表面顶点之间的空气间隔为2.38mm；所述的第四镜片（4）为负透镜，其为LAK21玻璃制造，前、后表面曲率半径分别为‑67.92mm和654.6mm，中心厚度为5mm，口径为φ22mm，前表面顶点到第三镜片（3）后表面顶点之间的空气间隔为1mm，后表面顶点到所述的一种用于激光光束质量测量的超消色差光学系统的焦点间空气间隔为164.77mm。