基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管。该晶体管包括自下而上依次设置的栅极金属层、衬底、栅极介质层、石墨烯/碳纳米管复合吸收层；所述石墨烯/碳纳米管复合吸收层由至少一层石墨烯层和至少一层碳纳米管层组成，并且，至少一层石墨烯层与所述栅极介质层接触，所述石墨烯层的两端分别设有源极、漏极，所述石墨烯/碳纳米管复合吸收层中的碳纳米管层设于所述源极、漏极之间，且所述碳纳米管层不与所述源极、漏极接触。本发明提供的红外光探测晶体管对红外光敏感，可应用于有线或无线通讯、感测和监控等领域。

主权项

一种基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管，其中，该晶体管包括自下而上依次设置的栅极金属层、衬底、栅极介质层、石墨烯 / 碳纳米管复合吸收层；所述石墨烯/碳纳米管复合吸收层由至少一层石墨烯层和至少一层碳纳米管层组成；并且，至少一层石墨烯层与所述栅极介质层接触，所述石墨烯层的两端分别设有源极、漏极，所述石墨烯/碳纳米管复合吸收层中的碳纳米管层设于所述源极、漏极之间，且所述碳纳米管层不与所述源极、漏极接触；所述碳纳米管层的厚度为 1‑20nm；其中，所述碳纳米管层中的碳纳米管包括单壁碳纳米管、双壁碳纳米管、多壁碳纳米管、金属性碳纳米管、半导体性碳纳米管中的一种或几种的组合；其中，所述源极与所述漏极分别包括至少两层金属，并且，其最下层金属与所述石墨烯层接触；所述源极和所述漏极的厚度分别为 20‑100nm，单层金属层的厚度至少为 3nm。