| 发明名称 | 用于制造薄膜电池的方法与工厂 | ||
| 摘要 | 本文描述用于制造薄膜电池的方法与工厂。方法包括用于制造薄膜电池的操作。工厂包括用于制造薄膜电池的一个或更多个工具组。 | ||
| 申请公布号 | CN104852090B | 申请公布日期 | 2017.04.12 |
| 申请号 | CN201510223656.4 | 申请日期 | 2010.09.20 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 秉-圣·郭;斯蒂芬·班格特;迪特尔·哈斯;奥姆卡拉姆·诺拉马苏 |
| 分类号 | H01M10/058(2010.01)I;H01M10/0525(2010.01)I | 主分类号 | H01M10/058(2010.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;赵静 |
| 主权项 | 一种用于锂基薄膜电池制造的工厂布局，所述工厂布局包括：第一处理工具，所述第一处理工具用以沉积有源层，其中所述第一处理工具是在线处理工具，并且其中所述第一处理工具被配置为沉积电解质与阳极层；第二处理工具，所述第二处理工具用以沉积金属或半导体层，其中所述第二处理工具是在线处理工具；以及第三处理工具，所述第三处理工具配置为沉积阴极层，其中所述第三处理工具是在线处理工具。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||