用于点状物体的三维定位的显微镜设备和显微镜方法

摘要

本发明涉及一种用于点状物体的三维定位的显微镜设备和显微镜方法。描述了用于点状物体的三维定位的显微镜设备。设备包括两个成像光学部件，两个成像光学部件均以聚焦光分布的形式将位于物体空间中的同一个点状物体成像到两个单独的像空间；两个检测器单元，两个检测器单元中的每个被分配给两个成像光学部件中的一个，并捕获在各自的像空间中设置的检测面的检测点中可分析的光斑；以及评估单元，评估单元建立两个检测面的检测点之间的相互成对的对应性，并通过分析两个光斑来确定点状物体的横向x‑y位置和轴向z位置。

主权项

一种用于点状物体(14，16)的三维定位的显微镜设备(10)，包括：两个成像光学部件，所述两个成像光学部件均以聚焦光分布(40，40’，42，42’)的形式将位于物体空间(18)中的同一个点状物体(14，16)成像到两个单独的像空间；两个检测器单元(28，28’)，所述两个检测器单元(28，28’)中的每个被分配给所述两个成像光学部件中的一个，并捕获在各自的所述像空间(34)中设置的检测面(27，27’)的检测点中可分析的两个光斑(54，54’)，各自的所述像空间(34)中设置的检测面(27，27’)代表通过各自的聚焦光分布(40，40’，42，42’)的平面横截面；以及评估单元(60)，所述评估单元(60)建立所述两个检测面(27，27’)的所述检测点之间的相互成对的对应性，并通过考虑检测点对应性分析所述两个光斑(54，54’)来确定在存在于所述物体空间(18)的物体平面中所述点状物体(14，16)的横向x‑y位置和在垂直于所述物体平面设置的光轴(O1)的方向上的所述点状物体(14，16)的轴向z位置，其中，所述两个成像光学部件中的每个包括光学装置，所述光学装置将所述各自的聚焦光分布(40，40’，42，42’)倾斜朝向检测轴(36)，所述检测轴(36)设在所述各自的成像光学部件中且垂直于所述各自的检测器单元(28，28’)的所述检测面(27，27’)设置；通过所述光学装置生成的所述两个聚焦光分布(40，40’，42，42’)的倾斜度是相互相反的，使得考虑所述检测点对应性，所述两个光斑(54，54’)响应所述点状物体(14，16)在所述各自的检测面(27，27’)中的所述z位置的变化在相反的方向上移动，以及所述评估单元(60)基于所述两个光斑(54，54’)的相对位置确定所述点状物体(14，16)的轴向z位置。