发明名称 装置、非感应式耦合等离子体装置、等离子体、套件、仪器、反应器、振荡器、系统和火炬电极组合件
摘要 本文中描述的某些实施方案涉及装置、非感应式耦合等离子体装置、等离子体、套件、仪器、反应器、振荡器、系统和火炬电极组合件。某些实施方案的装置包括火炬;和电容装置,在火炬的至少一部分外部且围绕火炬的至少一部分并接触火炬的外表面。电容装置被配置来将射频能量提供到火炬以维持所述火炬中的电容性耦合等离子体。
申请公布号 CN206100590U 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201490000803.0 申请日期 2014.04.07
申请人 珀金埃尔默健康科学股份有限公司 发明人 P.莫里斯罗
分类号 H05H1/26(2006.01)I 主分类号 H05H1/26(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 赵国荣
主权项 一种装置,其特征在于:包括:火炬;电容装置,在所述火炬的至少一部分外部且围绕所述火炬的至少一部分并接触所述火炬的外表面,所述电容装置被配置来将射频能量提供到所述火炬以维持所述火炬中的电容性耦合等离子体。
地址 美国马萨诸塞州