发明名称 平板工件的对位方法
摘要 本发明提供了一种平板工件的对位方法,其包括以下步骤:提供一气浮传送平台,所述气浮传送平台包括一气浮传送面,所述气浮传送面通过气体形成连绵的向上浮力,使得待对位的平板工件悬浮于所述气浮传送面的上方并处于无接触摩擦的自由状态;提供两对位挡板,所述两对位挡板分别相接设于所述气浮传送面的两相邻沿边上,形成对位基准结构;使所述气浮传送面沿所述对位基准结构的所在侧倾斜向下,进而使得所述待对位的平板工件在惯性及自身重力的作用下自动靠向所述对位基准结构进行对齐,最终完成平板工件的对位工作。本发明提供了一种平板工件利用自身重力进行对位的方法,其操作简单、不会产生接触污染。
申请公布号 CN104820346B 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201510197413.8 申请日期 2015.04.24
申请人 深圳市大川光电设备有限公司 发明人 代毓平;代童庆
分类号 G03F9/00(2006.01)I 主分类号 G03F9/00(2006.01)I
代理机构 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人 曾少丽
主权项 一种平板工件的对位方法,其特征在于,包括以下步骤:提供一气浮传送平台,所述气浮传送平台包括一气浮传送面及一空气泵,所述气浮传送面通过所述空气泵将气体从若干分布均匀的细微气孔中打出来以形成连绵的向上浮力,使得待对位的平板工件悬浮于所述气浮传送面的上方并处于无接触摩擦的自由状态;提供两对位挡板,所述两对位挡板分别相接设于所述气浮传送面的两相邻沿边上,形成对位基准结构;使所述气浮传送面沿所述对位基准结构的所在侧倾斜向下,进而使得所述待对位的平板工件在惯性及自身重力的作用下自动靠向所述对位基准结构进行对齐,最终完成平板工件的对位工作。
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