旋涂装置

摘要

本实用新型公开了一种旋涂装置。该旋涂装置包括旋涂槽、旋转部件以及喷淋部件。所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆基板并且能带动所述基板转动。所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。该旋涂装置操作容易，效率高，不易对薄膜产生二次污染。

主权项

一种旋涂装置，其特征在于，包括：旋涂槽；旋转部件，所述旋转部件设在所述旋涂槽内，所述旋转部件用于连接于待涂覆的基板并且能带动所述基板转动；以及喷淋部件，所述喷淋部件具有液体供给装置以及喷液管，所述喷液管的一端位于所述旋涂槽内且该端管口由所述旋转部件中心朝向所述旋转部件的边缘，所述液体供给装置连通于所述喷液管以用于通过所述喷液管喷液来清除所述基板上已涂覆的薄膜。