发明名称 感光性树脂材料和树脂膜
摘要 本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物,通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,作为所述铁,含有非离子性的铁。
申请公布号 CN105022228B 申请公布日期 2017.04.12
申请号 CN201510218992.X 申请日期 2015.04.30
申请人 住友电木株式会社 发明人 田中裕马
分类号 G03F7/016(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I 主分类号 G03F7/016(2006.01)I
代理机构 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人 龙淳;吕秀平
主权项 一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其特征在于:含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上、作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物和溶剂,通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,作为所述铁,含有非离子性的铁,所述永久膜为层间膜、表面保护膜或坝材。
地址 日本东京都