发明名称 |
感光性树脂材料和树脂膜 |
摘要 |
本发明的感光性树脂材料为一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上和作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物,通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,作为所述铁,含有非离子性的铁。 |
申请公布号 |
CN105022228B |
申请公布日期 |
2017.04.12 |
申请号 |
CN201510218992.X |
申请日期 |
2015.04.30 |
申请人 |
住友电木株式会社 |
发明人 |
田中裕马 |
分类号 |
G03F7/016(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/016(2006.01)I |
代理机构 |
北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 |
代理人 |
龙淳;吕秀平 |
主权项 |
一种用于形成永久膜的感光性树脂材料,其特征在于:含有作为碱可溶性树脂(A)的选自酚醛清漆型酚醛树脂、酚芳烷基树脂及羟基苯乙烯树脂中的一种或二种以上、作为感光剂(B)的感光性重氮醌化合物和溶剂,通过无火焰原子吸光分析所测得的、铁相对于不挥发成分整体的含量为0.005ppm以上80ppm以下,作为所述铁,含有非离子性的铁,所述永久膜为层间膜、表面保护膜或坝材。 |
地址 |
日本东京都 |