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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Substratträger (100a) Folgendes enthalten: einen Substratstützbereich (111) zum Stützen eines Substrats; wobei ein erster Abschnitt (102) des Substratstützbereichs (111) ein Porennetz (113) aus wenigstens teilweise miteinander verbundenen Poren enthält; wobei ein zweiter Abschnitt (104) des Substratstützbereichs (111) den ersten Abschnitt (102) umgibt und ein Dichtungselement (104e) zum Bereitstellen einer Kontaktdichtung enthält; wenigstens eine Evakuierungsöffnung (106) zum Erzeugen eines Unterdrucks in dem Porennetz (113), so dass ein über dem Substratstützbereich (111) aufgenommenes Substrat durch Saugen anhaftet; und wenigstens ein Ventil (108), das konfiguriert ist, eine Verbindung zwischen dem Porennetz (113) und der wenigstens einen Evakuierungsöffnung (106) zu steuern, so dass in dem Porennetz (113) ein Unterdruck aufrechterhalten werden kann, wobei das Porennetz (113) eine erste Poreneigenschaft in einem ersten Bereich (113a) und eine zweite Poreneigenschaft in einem zweiten Bereich (113b), die von der ersten Poreneigenschaft verschieden ist, umfasst. |
