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Kaskadierte mikromechanische Aktuatorstruktur zum Drehen eines mikromechanischen Bauelements (S) um eine Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') mit: einer Torsionsfedereinrichtung, welche einerseits an einer Halterung (VS) angebracht ist und an der andererseits das mikromechanische Bauelement (S) anbringbar ist; wobei die Torsionsfedereinrichtung eine Mehrzahl von Torsionsfedern (f1, f2, f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') aufweist, welche entlang oder parallel zu der Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') verlaufen; und einer Drehantriebseinrichtung mit einer Mehrzahl von Drehantrieben (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2''''), welche derart mit der Torsionsfedereinrichtung (f1, f2, f3; f', fi'; f1'', f2''; f1a''', f1b''', f2'''; f1a'''', f1b'''', f2'''') verbunden sind, dass jeder Drehantrieb (A1, A2, A3; Ai'; A1'', A2''; A1''', A2'''; A1'''', A2'''') geeignet ist, einen Bruchteil zu einem gesamten Drehwinkel des einen mikromechanischen Bauelements (S) um die Drehachse (DA; DA'; DA''; DA'''; DA'''') beizusteuern, wobei die Drehantriebseinrichtung eine drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') und eine damit zusammenwirkende feststehende Kammelektrodenanordnung (F1A', F1B') aufweist, wobei die drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') in einer ersten Ebene und die feststehende Kammelektrodenanordnung (F1A', F1B') in einer zweiten Ebene angeordnet ist, wobei die drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') über die Torsionsfedereinrichtung (f') an der Halterung (VS) angebracht ist, wobei Kammzinken (FD') der drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') an der Torsionsfedereinrichtung (f') angebracht sind und diese in einzelne dazwischenliegende Torsionsfedern (fi') unterteilen und eine Länge von Kammzinken (FD') der drehbare Kammelektrodenanordnung (D1A', D1B') ausgehend von der Seite der Halterung (VS) entlang der Drehachse (DA'; DA''; DA'''; DA'''') schrittweise abnimmt, wodurch jeweils zwischen zwei Torsionsfedern (fi') ein Drehantrieb (Ai') gebildet ist. |
