发明名称 Verfahren zur Ermittlung eines Regelungsparameters eines Drehtisches
摘要 Verfahren zur Ermittlung eines Regelungsparameters für die Regelung der Drehbewegung eines Drehtisches (30; 41), aufweisend – Erzeugen oder Ändern einer Kraft oder eines Kippmoments, die/das auf einen Rotor (30b; 41b) des Drehtisches (30; 41) einwirkt, – Ermitteln (S2) eines Luftdrucks oder einer Änderung des Luftdrucks an zumindest einer Luftlagerstelle (34; 42) des Drehtisches (30; 41), – Ermitteln (S3) zumindest eines Regelungsparameters für eine Regelungseinrichtung (39), welche eine Bewegung des Rotors (30b; 41b) regelt, unter Berücksichtigung des Luftdrucks oder der Luftdruckänderung, und Koordinatenmessgerät, das zur Durchführung des Verfahrens eingerichtet ist.
申请公布号 DE102015219049(A1) 申请公布日期 2017.04.06
申请号 DE201510219049 申请日期 2015.10.01
申请人 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH 发明人 Sagemüller, Rainer;Grupp, Günter
分类号 G05D3/12;G01B21/04;G12B5/00 主分类号 G05D3/12
代理机构 代理人
主权项
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