发明名称 PIEZOELEKTRISCHER FILM, PIEZOELEKTRISCHES FILMELEMENT, PIEZOELEKTRISCHER AKTUATOR, PIEZOELEKTRISCHER SENSOR, FESTPLATTE UND TINTENSTRAHLDRUCKKOPF
摘要 Ein piezoelektrischer Film, enthaltend (K, Na)NbO3 als Hauptkomponente, wobei, wenn eine Oberfläche des piezoelektrischen Films in einem Sichtfeld innerhalb eines spezifizierten Bereichs betrachtet wurde, eine Vielzahl an ersten Kristallen und eine Vielzahl an zweiten Kristallen in der Oberfläche des piezoelektrischen Films angeordnet sind, wobei der erste Kristall eine schlanke Gestalt aufweist, die in Richtung der ersten Orientierung entlang der Oberfläche orientiert ist, und der zweite Kristall eine schlanke Gestalt aufweist, die in Richtung der zweiten Orientierung orientiert ist, die sich mit der ersten Orientierung entlang der Oberfläche kreuzt.
申请公布号 DE102016118363(A1) 申请公布日期 2017.04.06
申请号 DE201610118363 申请日期 2016.09.28
申请人 TDK CORPORATION 发明人 Hirose, Yuiko;Ootsuki, Shirou
分类号 H01L41/187;H01L41/04;H01L41/47 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人
主权项
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