摘要 |
Verfahren zum Justieren von mindestens einem Abschnitt eines Lichtstrahls (1) in einem Mikroskop (15), wobei der Abschnitt durch ein justierbares optisches Bauteil (76) und einer Position, an der eine Einrichtung (70) zum Justieren angebracht ist, definiert ist, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: – Anbringen der Einrichtung (70) zum Justieren an dem Mikroskop (15) an eine von mehreren möglichen Positionen (160, 161, 162, 163) für die Einrichtung (70) zum Justieren; – Einkoppeln des Lichtstrahls (1) des Mikroskops (15) an der Position, an der die Einrichtung (70) zum Justieren angebracht ist, in die Einrichtung (70) zum Justieren des Lichtstrahls (1), wobei ein Einkoppellichtstrahl (9) in der Einrichtung (70) erzeugt wird; – Lenken des Einkoppellichtstahls (9) auf mindestens zwei Photodetektoren (10, 22), wobei die Photodetektoren (10, 22) jeweils unterschiedlich von der Position beabstandet sind; – Ermitteln der Abweichung des Einkoppellichtstahls (9) von einer Soll-Position (72) aus den elektrischen Signalen der Photodetektoren (10, 22) und – Verstellen des optischen Bauteils (76) über mindestens ein Stellelement (78), um den Einkoppellichtstahl (9) in die Soll-Position (72) zu bringen. |