Drucksensor und Druckmessverfahren

摘要

Drucksensor (1), mit: – einer ersten Elektrode (6), welche einen ortsfest angeordneten Bereich (7) aufweist, um welchen die erste Elektrode (6) schwingbar gelagert ist, – einer der ersten Elektrode (6) gegenüberliegend auf einer biegsamen Membran (4) angeordneten zweiten Elektrode (8), – wobei die erste Elektrode (6) eine von der zweiten Elektrode (8) beabstandete Elektrodenspitze (11) auf einer der zweiten Elektrode (8) zugewandten ersten Seite (9) aufweist, – einer Antriebseinrichtung (18), welche derart konfiguriert ist, die erste Elektrode (6) für eine Schwingung senkrecht zur Ebene der biegsamen Membran (4) um den ortsfest angeordneten Bereich (7) anzutreiben, – einer Spannungsbeaufschlagungseinrichtung, welche mit der ersten Elektrode (6) und der zweiten Elektrode (8) elektrisch verbunden ist, und – einer Strommesseinrichtung, welche mit der ersten Elektrode (6) und der zweiten Elektrode (8) elektrisch verbunden ist.