| 发明名称 | 一种远紫外宽带反射滤光片 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种远紫外宽带反射滤光片，包括：基底和Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜；所述Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF<sub>2</sub>膜组成，其中Al膜的光学厚度为L，MgF<sub>2</sub>膜的光学厚度为H，满足H>L；远离所述基底的最后一层膜为MgF<sub>2</sub>膜。本发明在不增加光学元件，也不增加额外的加工步骤的基础上，制作Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜，通过抑制带外波段反射率，提高广角极光成像仪成像质量。 | ||
| 申请公布号 | CN104730608B | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201510073129.X | 申请日期 | 2015.02.12 |
| 申请人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明人 | 王孝东;陈波;王海峰;何飞;刘世界;郑鑫;马月英 |
| 分类号 | G02B5/26(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人 | 南小平 |
| 主权项 | 一种远紫外宽带反射滤光片，其特征在于，包括：基底和Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜；所述Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜设置在所述基底上；所述Al/MgF<sub>2</sub>非周期多层膜由交替设置的Al膜和MgF<sub>2</sub>膜组成，其中Al膜的光学厚度为L，MgF<sub>2</sub>膜的光学厚度为H，满足H>L；远离所述基底的最后一层膜为MgF<sub>2</sub>膜；H和L满足关系式为：H+L＝0.5λ<sub>r</sub>，其中，λ<sub>r</sub>为工作波长。 | ||
| 地址 | 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号 | ||