对准装置

摘要

本发明提供了一种对准装置，包括照明模块、干涉模块和探测模块，所述干涉模块至少包括一组科斯特（Koster）棱镜，多个波长的光源发出的光束通过所述照明模块输出照明光束，所述照明光束通过所述干涉模块入射到对准标记，所述干涉模块还通过所述科斯特（Koster）棱镜将所述对准标记衍射得到的对称的正负极衍射光进行重合形成探测光，所述探测光被所述探测模块转化为干涉信号并进行收集，从而通过收集得到的干涉信号的信息可以得到所述对准标记的位置信息。本发明在干涉模块中使用了科斯特（Koster）棱镜（Koester棱镜），相比于空间多面体结构的屋脊棱镜，可有效的降低加工制造、装调难度。

主权项

一种对准装置，其特征在于：包括照明模块、干涉模块和探测模块，所述干涉模块至少包括一组科斯特(Koster)棱镜，多个波长的光源发出的光束通过所述照明模块输出照明光束，所述照明光束通过所述干涉模块入射到对准标记，所述干涉模块还通过所述科斯特(Koster)棱镜将所述对准标记衍射得到的对称的正、负极次衍射光进行重合形成探测光，所述探测光被所述探测模块转化为干涉信号并进行收集，从而通过收集得到的干涉信号的信息可以得到所述对准标记的位置信息；所述科斯特(Koster)棱镜包括两个直角三棱镜，所述两个直角三棱镜的一个直角边面互相胶合，且所述正、负极次衍射光分别从所述两个直角三棱镜另一个直角边面入射到两个直角三棱镜中，且在所述两个直角三棱镜中实现重合，形成所述探测光，所述探测光从其中一个直角三棱镜的斜边面射出进入所述探测模块；所述两个直角三棱镜的互相胶合的直角边面镀有偏振分光介质膜，使得所述正极次衍射光经过对应的直角三棱镜的斜边面反射后能够穿过所述偏振分光介质膜进入到另一个直角三棱镜，而负极次衍射光入射到所述偏振分光介质膜后能够反射到所在直角三棱镜的斜边面，且正、负极次衍射光在经过所述偏振分光介质膜后实现重合，形成所述探测光，不同波长的探测光从其中一个直角三棱镜的斜边面射出后以不同的角度散射进入所述探测模块；或所述科斯特(Koster)棱镜包括两个直角梯形棱镜，所述两个直角梯形棱镜的连接两个底边面的直角边面互相胶合，且所述正、负极次衍射光分别从所述两个直角梯形棱镜底边面入射到两个直角梯形棱镜中，且在所述两个直角梯形棱镜中实现重合，形成所述探测光，所述探测光从其中一个直角梯形棱镜的斜边面射出进入所述探测模块；所述两个直角梯形棱镜的互相胶合的直角边面镀有偏振分光介质膜，使得所述正极次衍射光经过对应的直角梯形棱镜的斜边面反射后能够穿过所述偏振分光介质膜进入到另一个直角梯形棱镜，而负极次衍射光入射到所述偏振分光介质膜后能够反射到所在直角梯形棱镜的斜边面，且正、负极次衍射光在经过所述偏振分光介质膜后实现重合，形成所述探测光，不同波长的探测光从其中一个直角梯形棱镜的斜边面射出后以不同的角度散射进入所述探测模块。