一种MEMS陀螺仪及其制造工艺

摘要

一种MEMS陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接。所述质量块和内框架之间设置有四组相互对应的梳状耦合结构。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明通过测量盖板硅片与测量体之间的平板电容的变化来计算出旋转的角速度。本发明具有检测灵敏度、准确度高等特点。

主权项

一种MEMS陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；其特征在于，所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及与所述内框架相连接的质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块及所述内框架与所述上盖板硅片及所述下盖板硅片之间各自形成有电容，并用于测量MEMS陀螺仪的旋转角速度；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接；所述质量块的四边与所述内框架之间设置有四组梳状耦合结构，其中两组所述梳状耦合结构用于驱动所述质量块，另外两组所述梳状耦合结构用于测量所述质量块相对于所述内框架的位移。