反射式镜面面型控制装置

摘要

本发明公开了一种反射式镜面面型控制装置，包括：镜片，镜片在接受作用力而产生形变，形变后的面形对照射在其上的光束的波前阵面有整形作用；底座，底座与镜片相连，用于接受加热/制冷单元的能量变化而产生形变，并将形变作用在镜片上；加热/制冷单元，加热/制冷单元安装在底座的底部，为底座的形变提供温度条件；温度探测器，温度探测器安装在底座中，用于探测经加热/制冷单元传到在底座上发生的温度变化值，以便进行控制调节。本发明结构简单，调节精度高，实时效率高，减少能耗，同时结构成本很低并可实现小体积多调节点的高效小型变形镜制作。

主权项

一种反射式镜面面型控制装置，其特征在于，包括：至少一个镜片，所述镜片在接受作用力而产生形变，形变后的面形对照射在其上的光束的波前阵面有整形作用，其中，所述镜片包括多个子镜片叠加而成，所述镜片的材料为石英或玻璃；底座，所述底座与所述镜片通过镜柱间接相连，所述底座包括多个子底座叠加而成，所述底座中具有开槽，所述开槽用于改变所述底座的可形变调整区域，其中，所述镜片和所述底座的线胀系数不同，所述底座用于接受加热/制冷单元的能量变化导致所述镜片的局部形变，其中，所述镜片的厚度等于或大于或小于所述底座的厚度；至少一个所述加热/制冷单元，所述加热/制冷单元与所述底座相连，用于为所述底座的形变提供温度条件，其中，所述加热/制冷单元均匀分布或非均匀分布地安装在所述底座的内部或表面；至少一个温度探测器，所述温度探测器与所述底座相连，用于探测经加热/制冷单元传到在底座上发生的温度变化值，以便进行控制调节，其中，所述温度探测器均匀分布或非均匀分布地安装在所述底座的内部或表面。