发明名称 |
半导体集成电路及其制造方法 |
摘要 |
本发明的实施例涉及一种半导体集成电路,其包括衬底、第一图案化的导电层、第一磁隧道结(MTJ)堆叠件和第二MTJ堆叠件。第一图案化的导电层位于衬底上方。位于第一图案化的导电层上方的第一MTJ堆叠件具有第一尺寸。位于第一图案化的导电层上方的第二MTJ堆叠件具有与第一尺寸不同的第二尺寸。本发明的实施例还涉及半导体集成电路的制造方法。 |
申请公布号 |
CN106558598A |
申请公布日期 |
2017.04.05 |
申请号 |
CN201610784364.2 |
申请日期 |
2016.08.31 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
庄学理;江典蔚 |
分类号 |
H01L27/22(2006.01)I;H01L43/08(2006.01)I;H01L43/12(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种半导体集成电路,包括:衬底;位于所述衬底上方的第一图案化的导电层;位于所述第一图案化的导电层上方的第一磁隧道结堆叠件,所述第一磁隧道结堆叠件具有第一尺寸;以及位于所述第一图案化的导电层上方的第二磁隧道结堆叠件,所述第二磁隧道结堆叠件具有与所述第一尺寸不同的第二尺寸。 |
地址 |
中国台湾新竹 |