一种共面电极电注入表面等离子微纳结构波导输出激光源

摘要

本发明涉及微纳光电子与激光技术以及光电子集成领域，提出一种适用于片上集成的共面电极电注入表面等离子微纳结构波导输出激光源，包括半导体有源层、绝缘介质层、金属薄膜层，金属薄膜层与半导体有缘层之间间隔所述绝缘介质层，金属薄膜层上形成有金属条形波导，在半导体有源层上制作有半导体条形波导以及两个载流子注入区，金属条型波导与半导体条型波导相垂直，在交叉处的MIS结构中形成表面等离子体亚波长腔。两个载流子注入区位于所述金属条形波导的正上方，作为亚波长腔的一部分；半导体有源层上实现横向电注入进行泵浦。本发明以半导体大增益材料抵消金属吸收损耗实现微腔中光的激射，最终耦合进入半导体波导输出。

主权项

一种共面电极电注入表面等离子微纳结构波导输出激光源，其特征在于，包括半导体有源层、绝缘介质层、金属薄膜层，所述金属薄膜层与半导体有源层之间间隔所述绝缘介质层；所述金属薄膜层上形成有金属条形波导；在所述半导体有源层上制作有半导体条形波导以及两个载流子注入区；所述金属条型波导与半导体条型波导相垂直，在交叉处的金属‑介质‑半导体三层结构中形成表面等离子体亚波长腔；所述两个载流子注入区位于所述金属条形波导的正上方，作为亚波长腔的一部分；所述半导体有源层上实现横向电注入进行泵浦。