一种基于多孔衬底的电阻式NO₂气体传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于多孔衬底的电阻式NO₂气体传感器，包括衬底，衬底上喷涂有气敏材料，气敏材料为RGO‑SnO₂复合材料；衬底以硅片作为基片，基片上表面经过刻蚀形成具有微孔阵列的凹凸面；基片的上表面及下表面均热氧化生长有SiO₂绝缘层；气敏材料均匀喷涂在所述基片上表面的SiO₂绝缘层上形成气敏薄膜。还公开了该传感器的制备方法:制备RGO‑SnO₂复合材料溶液作为气敏材料；制备衬底：选取硅片作为基片，在其上表面进行刻蚀，形成具有微孔阵列的凹凸面，然后在基片的上、下表面均热氧化生成SiO₂绝缘层，清洗吹干后得到衬底；将气敏材料喷涂到衬底上表面的SiO₂绝缘层上，形成气敏薄膜。该传感器能在常温下工作，增强对低浓度NO₂的响应性能。该制备方法步骤简单、成本较低。

主权项

一种基于多孔衬底的电阻式NO₂气体传感器，包括衬底，所述衬底上喷涂有气敏材料，其特征在于：所述气敏材料为RGO‑SnO₂复合材料；所述衬底以硅片作为基片，所述基片上表面经过刻蚀形成具有微孔阵列的凹凸面；所述基片的上表面及下表面均热氧化生长有SiO₂绝缘层；所述气敏材料均匀喷涂在所述基片上表面的SiO₂绝缘层上形成气敏薄膜。