一种精馏尾气回收系统

摘要

本发明提供一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质。本发明所述回收系统能够将精馏尾气中的氯硅烷较好地回收，从而节约了生产成本。

主权项

一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，其特征在于，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质。