一种湿制程设备清洗方法及装置

摘要

本发明适用于湿制程设备技术领域，提供了一种湿制程设备清洗方法及装置，所述方法包括：启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备。在本发明中，通过加液量替代高度，简化了计算，降低了对操作员工要求，可以快速使得清洗液浓度调整到目标值，快速进行清洗，用户也可手动输入需要添加的加液量，从而提高了用户操作效率和清洗的效率。

主权项

一种湿制程设备清洗方法，其特征在于，包括：启动湿制程设备的清洗程序；调用清洗步骤组合中的参数组，所述参数组包括子液的加液量，所述子液为添加进清洗液中的液体；根据所述清洗步骤组合中的清洗步骤的顺序，依次根据所述加液量添加子液至清洗液中，并根据所述清洗步骤的顺序自动清洗所述湿制程设备；其中，当调整所述清洗液的浓度时，获取所述清洗液的高度，根据预先建立的清洗液的高度与转换系数的对应关系，查找与获取到的清洗液的高度对应的转换系数，根据所述高度、所述转换系数以及所述湿制程设备的底面积的乘积，生成与所述清洗液的浓度对应的加液量。