检查装置和物品制造方法

摘要

本发明公开了检查装置和物品制造方法。用于执行物体的检查的检查装置包括：照明设备，该照明设备对于物体执行异向性的照明和等向性的照明；成像设备，该成像设备对由所述照明设备照明的物体进行成像；以及处理器，该处理器基于由所述成像设备获得的图像来执行检查的处理。所述处理器基于由所述成像设备在照明设备分别执行多个异向性的照明时获得的多个第一图像和由所述成像设备在照明设备执行等向性的照明时获得的第二图像来生成检查图像，并且基于所述检查图像来执行处理。

主权项

一种用于执行物体的检查的检查装置，其特征在于，所述装置包括：照明设备，该照明设备被配置为对于物体执行异向性的照明和等向性的照明；成像设备，该成像设备被配置为对由所述照明设备照明的物体进行成像；以及处理器，该处理器被配置为基于由所述成像设备获得的图像来执行检查的处理，其中，所述处理器被配置为基于由所述成像设备在照明设备分别执行多个异向性的照明时获得的多个第一图像和由所述成像设备在照明设备执行等向性的照明时获得的第二图像来生成检查图像，并且基于所述检查图像来执行处理。