一种超高压惰性气体净化系统

摘要

本实用新型公开了一种超高压惰性气体净化系统，包括三通压力表，所述三通压力表安装在主超高压惰性性气体增压器上，气体增压器与增压调节阀连接。本实用新型在不加装气体增压装置的情况下，对气体进行净化处理，既可满足在高压(或超高压)状态下。气体经过净化处理后，不被污染，保持气体纯度的稳定性，高压气源输入的气体，直接经气体净化器进行净化处理，不需要加装气体增压装置，减少了气体被污染的环节。气体输出管上，所述主超高压惰性气体输出管上设有副超高压惰性气体输出管，且副超高压惰性气体输出管与氮贮槽和干燥净化系统连接，所述氮贮槽的下方设有超高压惰。

主权项

一种超高压惰性气体净化系统，包括三通压力表(3)和压力表(8)，其特征在于：所述三通压力表(3)和压力表(8)均安装在主超高压惰性气体输出管(7)上，所述主超高压惰性气体输出管(7)上设有副超高压惰性气体输出管(1)，且副超高压惰性气体输出管(1)与氮贮槽(2)和超高压惰性气体干燥净化系统(10)连接，所述氮贮槽(2)的下方设有超高压超高压惰性气体增压器(4)，且超高压超高压惰性气体增压器(4)与增压调节阀(5)连接，所述主超高压惰性气体输出管(7)、氮贮槽(2)、超高压惰性气体干燥净化系统(10)和增压调节阀(5)均安装在机架(6)上，所述超高压惰性气体干燥净化系统(10)的内部设有超高压惰性气体净化配氢装置(11)、预脱罐(12)、反应罐(13)、吸附剂干燥器(14)和冷却罐(15)，所述超高压惰性气体净化配氢装置(11)、预脱罐(12)、反应罐(13)、吸附剂干燥器(14)和冷却罐(15)按顺序通过输氮管连接，所述冷却罐(15)通过压力表(8)与输出阀(18)和测试阀(19)连接，所述输出阀(18)与高纯超高压惰性气体储存罐(17)连接，所述测试阀(19)与微氧分析仪(16)连接。