一种微纳复合结构表面热沉

摘要

本实用新型公开了一种微纳复合结构表面热沉，用于大功率电子集成器件换热领域，解决高热流密度的散热问题。本实用新型的微纳复合结构表面热沉包括微槽群热沉和纳米涂层，在所述微槽群热沉的表面生成所述纳米涂层，所述微槽群热沉的表面材料是半导体、玻璃、陶瓷或金属及其合金，所述微槽群热沉的微槽道横截面是矩形、梯形或三角形，所述纳米涂层材料是金属、金属氧化物、金属氟化物、半导体材料或有机高聚物涂料。本实用新型通过所述纳米涂层强化微槽群热沉表面的换热性能，同时利用微槽群结构的表面扩展和毛细作用力因素，提升热沉的相变换热能力。

主权项

一种微纳复合结构表面热沉，包括微槽群热沉，其特征在于，还包括纳米涂层，所述纳米涂层在所述微槽群热沉的表面生成：所述微槽群热沉的表面材料是半导体、玻璃、陶瓷或金属及其合金；所述微槽群热沉的微槽道横截面是矩形、梯形或三角形；所述纳米涂层材料是金属、金属氧化物、金属氟化物、半导体材料或有机高聚物涂料。