移动体驱动系统及方法、图案形成装置及方法、曝光装置及方法、组件制造方法

摘要

通过驱动装置，根据用于测量晶片台WTB在Y轴方向位置信息的编码器(64)的测量值、与该测量时以干涉仪(16,43A及43B)所测量的晶片台WTB在非测量方向(例如，Z、及θz及θx方向)的位置信息所对应的已知修正信息，将晶片台WTB驱动于Y轴方向。也即，根据用于修正因读头往非测量方向与标尺的相对位移引起的编码器测量误差的修正信息修正后的编码器测量值，将移动体驱动于Y轴方向。因此，能在不受读头与标尺间的要测量方向(测量方向)以外的相对运动影响的情形下，一边以编码器测量位置、一边以良好精度将晶片台WTB(移动体)驱动于所希望的方向。

主权项

一种透过投影光学系统以照明光将基板曝光的曝光方法，其特征在于包括：通过于载置前述基板的载台设有栅格部与读头的一方且前述栅格部与前述读头的另一方设于前述载台的外部的编码器系统的与前述栅格部对向的复数前述读头来测量前述载台的位置信息的动作；基于用来补偿起因于关于与在与前述投影光学系统的光轴垂直的既定平面内互相正交的第1与第2方向的一方相异的方向的前述读头与前述栅格部的相对运动的前述编码器系统的测量误差的补正信息与前述已测量的位置信息来控制关于前述一方的方向的前述载台的驱动的动作；前述载台的移动中，将用于前述测量的前述复数读头的1个切换为其他读头的动作；前述切换后，通过包含前述复数读头中除去前述1个读头的剩下的读头、前述其他读头的复数读头来测量前述载台的位置信息。