| 发明名称 | 靶组装体 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在背衬板上，经由粘合材，留出间隔而配置有多个氧化物靶构件的靶组装体。所述靶组装体在氧化物靶构件和背衬板之间，具有跨越所述间隔而设的由从Ni、Si、Hf和Ta所构成的组中选择的至少一种或两种以上构成的内衬构件。 | ||
| 申请公布号 | CN104379802B | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201380031944.9 | 申请日期 | 2013.07.19 |
| 申请人 | 株式会社钢臂功科研 | 发明人 | 越智元隆;畠英雄;松村仁实 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 张玉玲 |
| 主权项 | 一种靶组装体，其特征在于，其为在背衬板上经由粘合材留出间隔而配置有多个氧化物靶构件而成的靶组装体，在所述氧化物靶构件和所述背衬板之间，具有跨越所述间隔而设的由从Ni、Hf和Ta所构成的组中选择的一种或两种以上构成的内衬构件。 | ||
| 地址 | 日本国兵库县 | ||