| 发明名称 | 薄膜X射线衍射原位测试装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种薄膜X射线衍射原位测试装置，包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构，所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖，所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔；还包括：一湿度控制机构，所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。本实用新型的一种薄膜X射线衍射原位测试装置可对反应腔体进行高低温控制、湿度控制并可实现原位的电学测试功能，具有调节自由度大、调节精度高、操作便捷、安全度高和成本低的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN206074486U | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201621060031.7 | 申请日期 | 2016.09.18 |
| 申请人 | 中国科学院上海应用物理研究所 | 发明人 | 王瑞;刘春泽;朱大明;顾月良;阴广志;李晓龙 |
| 分类号 | G01N23/20(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I | 主分类号 | G01N23/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人 | 邓琪 |
| 主权项 | 一种薄膜X射线衍射原位测试装置，包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构，所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖，所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔；其特征在于，还包括：一湿度控制机构，所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。 | ||
| 地址 | 201800 上海市嘉定区嘉罗公路2019号 | ||