直流电源装置、直流电源装置的控制方法

摘要

在向等离子发生装置供给直流电力的直流电源装置中，能够使形成发生等离子放电的高压电压的装置结构变得简单且小型化。重复多次进行在直流电源装置具备的电压型降压斩波部中以微小时间流过短路电流而将能量积累在电抗器中的工序，向输出电容释放积累在电抗器中的能量，使输出电压逐渐上升，由此升压到点火设定电压。使用直流电源装置所具备的升压电路的开关元件来形成短路电流。重复基于短路电流的积累和释放的输出端的升压，由此使直流电源装置的输出端的电压上升至点火设定电压。

主权项

一种向等离子发生装置供给直流电力的直流电源装置，具备：电压型降压斩波部，其构成直流电压源；升压电路，其使所述电压型降压斩波部的直流电压升压；单相逆变器部，其将所述升压电路的直流输出变换成单相交流；以及控制部，其包含用于控制所述电压型降压斩波部的斩波控制部和用于控制所述升压电路的升压控制部，其特征在于，所述控制部切换点火模式和稳定运转模式来进行控制，所述点火模式是供给使所述等离子发生装置发生等离子放电的点火电压的模式，所述稳定运转模式是使所述等离子发生装置的等离子放电持续的模式，在所述点火模式中，所述升压控制部使所述升压电路的正电压侧和负电压侧之间间歇性短路，将通过该短路形成的短路电流的能量积累在电压型降压斩波部的电抗器中，积累在所述电抗器中的能量在短路动作的间歇期间经由所述单相逆变器部使所述直流电源装置的输出电压升压。