| 发明名称 | 一种用于扩散工序的石英舟 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种用于扩散工序的石英舟，其使得石英舟的使用周期长，降低了生产成本。其包括舟支架，所述舟支架包括有两侧板，所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构，每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板，所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构，所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔，所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆，所述贯穿孔内插装有套管，所述套管用于插装舟叉。 | ||
| 申请公布号 | CN206076268U | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201621004695.1 | 申请日期 | 2016.08.30 |
| 申请人 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 发明人 | 邱军辉;缪乾;王雪亮;程芳;陆佳;罗茂盛;张俊鹏 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种用于扩散工序的石英舟，其特征在于：其包括舟支架，所述舟支架包括有两侧板，所述舟支架的长度方向的横梁上均布有卡口结构，每块所述侧板包括两端的垂直支杆、上连接板、下连接板，所述上连接板、下连接板之间设置有镂空结构，所述下连接板的长度方向内部设置有贯穿孔，所述贯穿孔分别贯穿对应位置的所述垂直支杆，所述贯穿孔内插装有套管，所述套管用于插装舟叉。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市新桥镇新杨路15号 | ||