一种全自动卤素气体测量装置

摘要

本发明涉及一种全自动卤素气体的测量装置，包括气路部分以及气路控制部分，气路部分包括气体采集部件、进气时间控制部件以及气体测量部件；气体采集部件用于采集被测气体和空气，并将采集到的两种气体通过各自管道输送给进气时间控制部件；进气时间控制部件将两种气体通过一条输出管道进行混合后输送给气体测量部件；气体测量部件对混合后气体浓度进行测量；气路控制部分包括控制及数据处理模块和数据显示模块，控制及数据处理模块用于控制进气时间控制部件两种气体的接通和断开时间、接收气体测量部件反馈的电信号并将该电信号经过计算处理后输送给数据显示模块。本发明测量装置，实现了卤素气体由1ppb-50ppm的实时在线测量；测量范围宽、灵敏度高。

主权项

一种全自动卤素气体的测量装置，包括气路部分以及气路控制部分，其特征是：所述气路部分包括气体采集部件、进气时间控制部件以及气体测量部件；所述气体采集部件用于采集被测气体和空气，并将采集到的两种气体通过各自管道输送给进气时间控制部件；进气时间控制部件用于接收两种气体并将两种气体通过一条输出管道输送给气体测量部件；气体测量部件用于接收两种混合气体并对两种混合气体浓度进行测量；所述气路控制部分包括控制及数据处理模块和数字显示模块，所述控制及数据处理模块用于控制进气时间控制部件两种气体的接通和断开时间、接收气体测量部件反馈的电信号并将该电信号经过计算处理后获得的被测气体浓度值输送给数字显示模块。