流量控制装置用的流量控制阀

摘要

本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。

主权项

一种流量控制装置用的流量控制阀，其特征在于，包括：阀主体，所述阀主体具备阀室用孔部和与该阀室用孔部连通的流体入口通路以及流体出口通路，所述阀室用孔部在底面具有阀座，并且上方敞口；倒碟形的金属隔膜阀体，所述倒碟形的金属隔膜阀体在所述阀座的上方与该阀座相对状地配设，并且外周缘气密性地固定于阀室用孔部的底面；压紧螺钉，所述压紧螺钉螺纹旋插到所述阀室用孔部中并按压固定金属隔膜阀体的外周缘；下部支承筒体，所述下部支承筒体通过该压紧螺钉内部而插入到阀室用孔部内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件，并且在侧壁贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口；圆筒状的上部支承筒体，所述上部支承筒体螺接到该下部支承筒体的上端部而形成支承筒体；碟簧承受台，所述碟簧承受台载置在所述下部支承筒体的底壁上，并且具有碟簧保持部；碟簧，所述碟簧载置在该碟簧承受台上；支承台架，所述支承台架插通所述下部支承筒体的切口而水平配设，中央具有保持所述碟簧保持部的前端部的碟簧承受台引导孔，并且在两端部设置有固定用螺栓的螺栓插入孔；下部承受台，所述下部承受台载置在该支承台架的碟簧承受台引导孔的上方；压电元件，所述压电元件插入到该下部承受台上方的支承筒体内；引导体，所述引导体具备引导筒和从该引导筒的下端部向两侧突出的凸缘部，使所述支承筒体以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒内，并且使凸缘部与支承台架的两端部相对，利用固定用螺栓与所述支承台架一并被固定于阀主体；和定位螺母，所述定位螺母螺接在所述上部支承筒体的上端部，所述流量控制装置用的流量控制阀构成为：通过所述压电元件的伸长将支承筒体推向上方，利用金属隔膜阀体的弹力使该金属隔膜阀体从阀座分离。