发明名称 |
氧化锌薄膜的制造方法、薄膜晶体管的制造方法、氧化锌薄膜、薄膜晶体管和透明氧化物配线 |
摘要 |
一种氧化锌薄膜的制造方法,其中,将在至少一部分具有导电性部位的基材浸渍在含有锌离子、氢氧化物离子和锌配位离子的溶液中,对上述导电性部位进行交流电流的通电,由此在上述基材上的包含上述导电性部位的区域形成氧化锌薄膜。 |
申请公布号 |
CN104428453B |
申请公布日期 |
2017.04.05 |
申请号 |
CN201380033284.8 |
申请日期 |
2013.07.02 |
申请人 |
株式会社 尼康 |
发明人 |
中积诚;西康孝 |
分类号 |
C25D9/04(2006.01)I;C01G9/02(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
C25D9/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
庞东成;张志楠 |
主权项 |
一种氧化锌薄膜的制造方法,其特征在于,将在至少一部分具有导电性部位的基材浸渍在含有锌离子、氢氧化物离子和锌配位离子的溶液中,上述基材具有隔着绝缘间隙相向配置的至少一对导电性部位,对上述一对导电性部位中的一个导电性部位进行交流电流通电,由此在上述基材上的包含上述导电性部位的区域形成氧化锌薄膜以使上述一对导电性部位间搭桥。 |
地址 |
日本东京都 |