流量控制用的多孔型孔板及使用该孔板的流量控制装置

摘要

本发明涉及一种流量控制用孔板，如果为应对控制流量的增大而加大孔口的直径，就要防止临界膨胀条件成立时的孔口的上下游侧的压力比P₂/P₁变动，并防止流量控制范围变窄。本发明构成为：在流量控制用孔板(7a)上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口(12)。

主权项

一种流量控制用多孔型孔板，其为压力控制式流量控制装置用的流量控制用多孔型孔板，所述压力控制式流量控制装置具备控制阀、压力检测器、温度检测器和计算控制装置，所述流量控制用多孔型孔板的特征在于：在流体的流量控制用孔板上，将规定流量的流体的流通所需的一个孔口的开口面积加以分割，设置成具有与所述开口面积相等的总开口面积的多个孔口，所述孔板的厚度为20～200μm，所述孔口的口径为0.010～0.200mm，所述孔口的数量为2～100个。