| 发明名称 | 一种以光子晶体作为入射窗的氮化镓基紫外探测器 | ||
| 摘要 | 一种以光子晶体作为入射窗的氮化镓基紫外探测器，其特征在于，包括由下而上依次设置的阴极电极101、n型Al<sub>x1</sub>Ga<sub>1‑x1</sub>N层102、Al<sub>y1</sub>Ga<sub>1‑</sub><sub>y1</sub>N/Al<sub>y2</sub>Ga<sub>1‑y2</sub>N多量子阱雪崩增益区103、Al<sub>y3</sub>Ga<sub>1‑y3</sub>N/Al<sub>y4</sub>Ga<sub>1‑y4</sub>N超晶格吸收区104、p型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层105、环形阳极电极107和制作于p型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层105表面、但局限于阳极电极环107内的光子禁带隙宽度可调的光子晶体入射窗106。本发明的有益效果为：极大程度地降低背景噪声，有效提高信噪比，通过设置光子晶体入射窗结构，可提高带通区光线在吸收区的进光量50％以上，而对波长位于带通区外但又落在光子禁带内的光线，则可滤掉其进光量80％以上。既保证了探测器具有高灵敏度和高增益，又有效地降低了探测器的背景噪声与暗电流，有益于提高探测器的可靠性与稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN104916713B | 申请公布日期 | 2017.04.05 |
| 申请号 | CN201510284031.9 | 申请日期 | 2015.05.28 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 张雄;赵见国;崔一平 |
| 分类号 | H01L31/0248(2006.01)I;H01L31/036(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/107(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/0248(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种以光子晶体作为入射窗的氮化镓基紫外探测器，其特征在于：包括由下而上依次设置的阴极电极(101)、n型Al<sub>x1</sub>Ga<sub>1‑x1</sub>N层(102)、Al<sub>y1</sub>Ga<sub>1‑y1</sub>N/Al<sub>y2</sub>Ga<sub>1‑y2</sub>N多量子阱雪崩增益区(103)、Al<sub>y3</sub>Ga<sub>1‑y3</sub>N/Al<sub>y4</sub>Ga<sub>1‑y4</sub>N超晶格吸收区(104)、p型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层(105)、环形阳极电极(107)和制作于p型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层(105)表面、但局限于阳极电极环(107)内的光子禁带隙宽度可调的光子晶体入射窗(106)；所述的探测器入射窗(106)是制作于p型Al<sub>x2</sub>Ga<sub>1‑x2</sub>N层(105)表面，具有周期性结构的光子禁带隙宽度可调的纳米光子晶体，光子晶体的周期可根据所需带通区波长范围进行调节。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 | ||