一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关

摘要

本发明属于电子科学技术领域，提供一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关，包括带绝缘介质层的基底，绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘；所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面，其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触；所述第一驱动电极设置作用于横向可移动悬臂梁中点；所述第二驱动电极设置对应于横向可移动悬臂梁自由端端点。本发明通过两组电极对两个悬臂梁的控制，使开关具有更低的驱动电压和更高的隔离度，并降低了开关时间，使之具有更好的实用性及开关性能。

主权项

一种横向双梁的DC接触式串联MEMS开关，包括带绝缘介质层的基底，绝缘介质层上的两个横向可移动悬臂梁及其分别对应的第一驱动电极、第二驱动电极、开关焊盘、电极焊盘；其特征在于，所述两个横向可移动悬臂梁下方悬空且高度位于同一水平面，其固定端分别通过支撑锚点固定于绝缘介质层上对侧位置、自由端部分交叠且不接触；所述第一驱动电极设置作用于对应横向可移动悬臂梁中点；所述第二驱动电极设置对应于对应横向可移动悬臂梁自由端端点。