缺陷检测装置

摘要

一个实施方式的缺陷检测装置设置有测定部、存储部、控制部及显示部。测定部测定向被检查装置发送第1信号后到接收被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间。存储部具备：具有被检查装置的CAD数据的CAD数据部和存储根据CAD数据表示第1时间和第1信号的预测传导距离的关系的模型数据的模型数据部。控制部根据CAD数据计算由被检查装置选择的检查对象的范围，根据模型数据由第1时间计算预测传导距离，在检查对象的范围内，确定从测定部算起以预测传导距离离开的被检查装置的缺陷部位的位置。显示部在CAD数据显示缺陷部位的位置。

主权项

一种缺陷检测装置，其特征在于，具备：测定部，测定从向被检查装置发送第1信号起到接收由上述被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间；存储部，具备具有上述被检查装置的CAD数据的CAD数据部和存储相应于上述CAD数据表示上述第1时间和上述第1信号的预测传导距离的关系的模型数据的模型数据部，控制部，具备存储上述CAD数据的RAM部、存储部件的数据的图书馆部、确定上述被检查装置的缺陷部位的运算部以及对上述CAD数据进行分割的分割部，根据上述CAD数据计算由上述被检查装置选择的检查对象的范围，根据上述模型数据由上述第1时间计算上述预测传导距离，在上述检查对象的范围内，确定从上述测定部起仅离开上述预测传导距离的上述被检查装置的缺陷部位的位置；以及显示部，在上述CAD数据显示上述缺陷部位的位置。