一种针测机排风装置

摘要

本发明公开了一种针测机排风装置，包括针测机后盖，所述针测机后盖开设有排风口，所述针测机后盖开设有长方形孔，所述长方形设计成开孔漏斗，所述开孔漏斗上安装有卡扣，有排风通道通过卡扣与开孔漏斗相连，所述排风通道延伸至无尘室顶部，所述无尘室顶部安装排风机。本发明一种针测机排风装置，在针测机后盖正下方处开设40cm*20cm的长方形孔，设计成长方形开孔漏斗,上下共安装4个卡扣，外接铝箔纸材质排风通道连接无尘室向外排风通道；具有排风效果提高,针测机内部温度与无尘室温度相同；针测机内部的带电粒子直接排出无尘室，避免了带电粒子对晶圆上的晶粒造成的带电伤害。

主权项

一种针测机排风装置，包括针测机后盖，所述针测机后盖开设有排风口，其特征在于：所述针测机后盖开设有长方形孔，所述长方形设计成开孔漏斗，所述开孔漏斗上安装有卡扣，有排风通道通过卡扣与开孔漏斗相连，所述排风通道延伸至无尘室顶部，所述无尘室顶部安装排风机。