通过在流化床反应器中使二氯硅烷热分解而生产多晶硅

摘要

公开了通过二氯硅烷的热分解而制备多晶硅的方法。该方法一般性地涉及二氯硅烷在反应条件下操作的流化床反应器中热分解，其可产生相对于常规制备方法的高生产率。

主权项

通过在具有核心区域和外围区域的流化床反应器中热分解二氯硅烷而制备多晶硅的方法，所述方法包括：将包含二氯硅烷的第一进料气体引入流化床反应器的核心区域中，其中流化床反应器含有硅颗粒且第一进料气体的温度小于600℃，二氯硅烷在流化床反应器中热分解而使一定量的硅沉积于硅颗粒上；和将第二进料气体引入流化床反应器的外围区域中，其中第一进料气体中的二氯硅烷浓度超过第二进料气体中的浓度且流化床反应器中的压力为至少3巴，其中流化床反应器以小于80％的平衡转化率操作。