一种用于太阳能电池扩散工序的源瓶

摘要

本实用新型公开了一种用于太阳能电池扩散工序的源瓶，包括多个内部放置有扩散源溶液的瓶体，每一所述瓶体的上端部均设有进气口和出气口，一进气管通过所述进气口插入到所述瓶体的底部，一出气管通过所述出气口与所述瓶体上端部连通，并且所述出气管与所述进气管的管口直径一致；每一所述瓶体的出气管与其相邻瓶体的进气管通过套管连接，所述套管与所述出气管和所述进气管的连接部位通过密封胶圈进行密封固定。本实用新型的多个源瓶的瓶体串联时，靠近进气端的源瓶内的扩散源溶液首先耗尽，故可以当每个源瓶都耗尽时再更换源瓶。从而可以更充分的利用三氯氧磷，节省成本。

主权项

一种用于太阳能电池扩散工序的源瓶，其特征在于：包括多个内部放置有扩散源溶液的瓶体，每一所述瓶体的上端部均设有进气口和出气口，一进气管通过所述进气口插入到所述瓶体的底部，一出气管通过所述出气口与所述瓶体上端部连通，并且所述出气管与所述进气管的管口直径一致；每一所述瓶体的出气管与其相邻瓶体的进气管通过套管连接，所述套管与所述出气管和所述进气管的连接部位通过密封胶圈进行密封固定。