一种新型的籽晶清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种新型的籽晶清洗设备，属于单晶硅制造设备领域，其包括清洗筒，在清洗筒的内腔中设有水平隔板，水平隔板将清洗筒的内腔分割为上部清洗腔和下部驱动腔，在水平隔板上穿设有沿清洗筒的轴线眼神的驱动转轴，在驱动转轴上配装有两个转盘，所述的转盘上多个第一卡口和第二卡口，第一卡口和第二卡口沿转盘中心均匀分布，所述的第一卡口和第二卡口的口径不同，第二卡口位于第一卡口与驱动轴之间，采用卡盘的形式，讲各个籽晶卡和在转盘上，在配合酸洗液和转轴进行正向或者反向清洗，使用便利，采用清洗筒上下两个腔体的分配方式，两个腔体之间相互隔离，各个腔体各司其职，整体设备的一体性较好。

主权项

一种新型的籽晶清洗设备，其特征在于：包括清洗筒(1)，在清洗筒的内腔中设有水平隔板，水平隔板将清洗筒(1)的内腔分割为上部清洗腔和下部驱动腔，在水平隔板上穿设有沿清洗筒的中央轴线延伸的驱动转轴(3)，在驱动转轴上配装有两个转盘(2)，所述的转盘上开有多个第一卡口(2a)和第二卡口(2b)，第一卡口和第二卡口沿转盘中心均匀分布。