发明名称 PROCEDE DE FORMATION D’UNE PORTION SEMICONDUCTRICE PAR CROISSANCE EPITAXIALE SUR UNE PORTION CONTRAINTE
摘要 L'invention porte sur formation d'une portion semiconductrice (60) par croissance épitaxiale sur une portion contrainte de germination (40), comportant les étapes dans lesquelles on réalise une cavité (21) sous une partie structurée (11) en rendant libre une couche support (30) située en regard de la partie structurée (11), une portion centrale (40), dite portion contrainte de germination, étant alors contrainte ; et on forme une portion semiconductrice (60) par croissance épitaxiale sur la portion contrainte de germination (40), caractérisé en ce qu'on réalise en outre une mise en contact de la partie structurée (11) avec la couche support (30) de manière à rendre solidaire la partie structurée (11) de la couche support.
申请公布号 FR3041812(A1) 申请公布日期 2017.03.31
申请号 FR20150059284 申请日期 2015.09.30
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 发明人 REBOUD VINCENT;GASSENQ ALBAN;GUILLOY KEVIN;CALVO VINCENT;TCHELNOKOV ALEXEI
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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