| 摘要 |
Eine Inspektionsvorrichtung zur gleichzeitigen Dunkelfeld-(DF) und Differentialinterferenzkontrast-(DIK)Inspektion umfasst eine Beleuchtungsquelle und einen Probentisch, der zum Haltern einer Probe konfiguriert ist. Die Inspektionsvorrichtung umfasst einen ersten Sensor, einen zweiten Sensor und ein optisches Sub-System. Das optische Sub-System umfasst ein Objektiv, ein oder mehrere optische Elemente, die zum Lenken einer Beleuchtung, durch das Objektiv, von der einen oder den mehreren Beleuchtungsquellen zu einer Oberfläche der Probe angeordnet sind. Das Objektiv ist zum Aufnehmen eines aufgenommenen Signals von der Oberfläche der Probe konfiguriert, wobei das aufgenommene Signal mindestens eines von einem auf Streuung basierten Signal und einem auf Phase basierten Signal von der Probe umfasst. Die Inspektionsvorrichtung umfasst ein oder mehrere optische Trennelemente, die angeordnet sind, um das aufgenommene Signal in ein DF-Signal und ein DIK-Signal räumlich zu trennen, indem das DF-Signal entlang eines DF-Wegs und das DIK-Signal entlang eines DIK-Wegs gelenkt wird. |
