Polychromatische Elektronenmikroskopie

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein elektronenmikroskopisches Verfahren zur Erzeugung einer mehrfarbigen, also polychromatischen Darstellung einer Probe, auf eine Darstellung der erzielten Bilddaten, sowie ein System und Computerprogrammprodukt zu dessen Ausführung. Insbesondere betrifft die Erfindung ein elektronenmikroskopisches Verfahren zur Erzeugung einer mehrfarbigen Darstellung einer Probe, bei dem man mehrere Aufnahmen der Probe bei unterschiedlichen Beschleunigungsspannungen erzeugt und den bei unterschiedlichen Beschleunigungsspannungen erzeugten Aufnahmen jeweils eine verschiedene Farbe zuordnet. Dabei ergibt eine Überlagerung der erzeugten Aufnahmen eine mehrfarbige Darstellung.