| 发明名称 |
Kombinierter mikromechanischer Druck- und Feuchtesensor sowie Herstellungsverfahren |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft einen kombinierten mikromechanischen Feuchte- und Drucksensor, bei dem beide Sensorelemente auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sind sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung. |
| 申请公布号 |
DE102015218660(A1) |
申请公布日期 |
2017.03.30 |
| 申请号 |
DE201510218660 |
申请日期 |
2015.09.29 |
| 申请人 |
Robert Bosch GmbH |
发明人 |
Mitschke, Michaela;Frey, Tobias Sebastian |
| 分类号 |
B81B7/02;B81B3/00;B81C1/00;G01L7/02;G01N27/12 |
主分类号 |
B81B7/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
