| 摘要 |
Es wird ein Spiegel (200) für eine Lithographieanlage (100) offenbart, welcher einen Spiegelkörper (204), und mindestens eine Anschlussanordnung (206), welche über mindestens eine Befestigungsstelle (302) mit dem Spiegelkörper (204) verbunden ist, aufweist. Die Anschlussanordnung (206) weist eine erste Schnittstelle (314) zum Verbinden des Spiegels (200) mit einem Halterahmen (400) eines Prüfturms (412) und eine zweite Schnittstelle (316) zum Verbinden des Spiegels (200) mit einem Halterahmen (500) eines optischen Systems (508) auf. |
