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Es wird ein Mikroskop mit einem Halter (2) zum Haltern eines Probenträgers (9), einer Abbildungseinheit, die einen ersten Detektor (5) und eine erste Abbildungsoptik (3) zum Abbilden zumindest eines Teils einer vom Probenträger (9) gehalterten Probe (8) entlang einer ersten optischen Achse auf den ersten Detektor (5) aufweist, einer Steuereinheit (S) und einer Detektionseinheit (11), die ein Beleuchtungsmodul (12), einen zweiten Detektor (20) und eine zweite Abbildungsoptik aufweist, bereitgestellt, wobei das Beleuchtungsmodul (12) einen Probenträger (9), der vom Halter (2) gehaltert ist, mit einem vorbestimmten Muster (M) beleuchtet, das mittels der zweiten Abbildungsoptik (3) auf den zweiten Detektor (20) abgebildet wird, wobei der zweite Detektor (20) so maskiert ist, dass ein Detektionsbereich des zweiten Detektors (20), den das Muster (M) bei fokussierter Abbildung belegt, oder ein Teil des Detektionsbereiches als Auswertebereich (24; 241, 242) festgelegt ist, und wobei die Steuereinheit (S) vom zweiten Detektor (20) nur die aus dem Auswertebereich (24; 241, 242) stammenden Messwerte auswertet, um die Richtung der Änderung der Lage des Fokus der ersten Abbildungsoptik (3) entlang der ersten optischen Achse mit dem Ziel zu bestimmen, die zur Probenseite gerichtete Grenzfläche des Probenträgers (9) im Tiefenschärfebereich der ersten Abbildungsoptik (3) zu positionieren. |
