| 摘要 |
Es wird bereitgestellt: Ein Verfahren und ein Mikroskop zur Ermittlung einer Position eines Strukturelements auf einer Maske, umfassend die Schritte: – Vorgeben eines Bereichs auf der Maske, welcher zumindest das Strukturelement umfasst, – Ermitteln eines Phasenbildes des Bereichs, wobei das Phasenbild ortsaufgelöst die Phase der Abbildung der Maske durch die Beleuchtungsstrahlung umfasst, – Ermitteln der Position des Strukturelements innerhalb des Phasenbildes. |
