发明名称 Optischer Geber
摘要 Ein optischer Geber umfasst eine Beleuchtungsquelle, ein Skalengitter, das sich entlang einer Messachsenrichtung erstreckt, einen optischen Abschnitt, ein Moiré-Gitter und einen Detektorabschnitt. Der optische Abschnitt umfasst einen Aperturabschnitt zum räumlichen Filtern von Skalenlicht von dem Skalengitter. Das Moiré-Gitter ist dazu konfiguriert, das räumlich gefilterte Skalenlicht zu empfangen und ein räumlich moduliertes Streifenmuster zu dem Detektorabschnitt hin auszugeben. Der optische Abschnitt gibt das räumlich modulierte Skalenlicht aus, um ein primäres Interferenzstreifenmuster mit einem primären Streifenabstand PPF zu bilden. Der Detektorabschnitt umfasst mindestens N jeweilige Detektorelemente, die dazu positioniert sind, N jeweilige räumliche Phasen des periodischen, räumlich modulierten Streifenmusters zu erkennen, wobei N eine ganze Zahl ist, die mindestens drei ist, und jedes jeweilige Detektorelement eine Breitendimension DW, die mindestens so groß wie der primäre Streifenabstand PPF ist, entlang einer Richtung der Streifenverschiebung aufweist.
申请公布号 DE102016218680(A1) 申请公布日期 2017.03.30
申请号 DE201610218680 申请日期 2016.09.28
申请人 MITUTOYO CORPORATION 发明人 Yong, Xie
分类号 G01D5/347 主分类号 G01D5/347
代理机构 代理人
主权项
地址